檢測認證人脈交流通訊錄
- PFA花籃 PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍 ，特氟龍卡匣 ， 特氟龍晶舟盒 ，特氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。 主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進入化學酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。 二、參數 名稱 規格 耐溫性 應用 PFA花籃 PP Cassette 2寸 -200~260℃ 酸堿傳輸制程 4寸 6寸 三、特點 1.耐腐蝕：耐受強酸強堿 2.搭配可活動把手，用于晶圓芯片清洗運輸 3.耐高低溫：-200~260℃ 4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關； 5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb； 6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染 7.化學性能穩定
